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摘要：本发明提供的一种微区全域协同表征光电流mapping测试系统及方法，包括激光器、确定性光路、数字微镜器件及驱动系统、光学镜头、X‑Y轴位移平台、可视化监测模组以及信号处理和采集系统；所述激光器发出激光，所述确定性光路确保激光以高精度和高效率照射到数字微镜器件上；数字微镜器件包括多个角度可调的微镜组成的微镜阵列，数字微镜器件通过其驱动系统，实时调整每个微镜的角度，以将光反射到不同的方向，动态地控制光线的路径和投射到特定区域以适应不同的照射需求。本发明的一种微区全域协同表征光电流mapping测试系统及方法，通过数字微镜器件的独立控制和高精度调整，实现了对器件全域范围内的光电流表征。
主权项：1.微区全域协同表征光电流mapping测试系统，其特征在于：所述系统包括激光器、确定性光路、数字微镜器件及驱动系统、光学镜头、X-Y轴位移平台、可视化监测模组以及信号处理和采集系统；所述激光器发出激光，用于照射半导体光电器件以产生光电流，所述确定性光路使用光路调整元件和第一镜组确保激光以高精度和高效率照射到数字微镜器件上；数字微镜器件包括角度可调的微镜组成的微镜阵列，数字微镜器件通过驱动系统实时调整每个微镜的角度，将光反射到不同的方向，动态地控制光线的路径和投射到特定区域以适应不同的照射需求；所述X-Y轴位移平台精确移动样品；可视化监测模组通过图像传感器CCD提供实时图像反馈，通过分光镜和第二镜组的组合确保了激光光源光学对准；信号处理与采集系统将光电流信号放大、处理和记录，用于高精度的光电表征。
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百度查询： 国科大杭州高等研究院 微区全域协同表征光电流mapping测试系统及方法
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