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申请/专利权人：深圳市新凯来工业机器有限公司
摘要：本申请提供一种晶圆的加热装置及加热方法。该加热装置包括：温度传感器、温度处理器、第一加热部件、第二加热部件、第一控制器和第二控制器；温度传感器用于在晶圆旋转时，测量晶圆沿径向方向的单个或多个位置的实时温度；温度处理器用于接收温度传感器测量的实时温度，并将实时温度进行滤波处理，分离出无波动的第一温度以及有波动的第二温度；第一控制器用于接收温度处理器分离出的无波动的第一温度，并根据第一温度控制第一加热部件和第二加热部件的输出功率；第二控制器用于接收温度处理器分离出的有波动的第二温度，并根据第二温度调节第二加热部件的补偿功率，其中补偿功率用于对第二加热部件的输出功率。可以提高晶圆温度分布的均匀性。
主权项：1.一种晶圆的加热装置，其特征在于，包括：温度传感器、温度处理器、第一加热部件、第二加热部件、第一控制器和第二控制器；所述温度传感器用于在所述晶圆旋转时，测量所述晶圆沿径向方向的单个或多个位置的实时温度；所述温度处理器与所述温度传感器连接，用于接收所述温度传感器测量的实时温度，并对所述实时温度进行滤波处理，分离出无波动的第一温度以及有波动的第二温度，其中所述实时温度为第一温度和第二温度之和；所述第一控制器分别与所述温度处理器、所述第一加热部件、所述第二加热部件连接，用于接收所述温度处理器分离出的无波动的第一温度，并根据所述第一温度控制所述第一加热部件和所述第二加热部件的输出功率；所述第二控制器分别与所述温度处理器和所述第二加热部件连接，用于接收所述温度处理器分离出的有波动的第二温度，并根据所述第二温度调节所述第二加热部件的补偿功率，其中所述第二加热部件的补偿功率用于对第二加热部件的输出功率进行调整。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市新凯来工业机器有限公司 晶圆的加热装置及加热方法
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