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申请/专利权人：AP系统股份有限公司
摘要：本发明提供一种将惰性气体注入到衬底上以控制衬底上的氧气浓度的气体注入模块和包含气体注入模块的激光设备。气体注入模块包含：注入块，具有穿过面向彼此的第一表面和第二表面的开口；第一注入部分，安置在注入块的内表面上以将第一气体供应到开口；以及第二注入部分，安置在注入块的第一表面和第二表面中的面向衬底的表面上以朝向衬底注入第二气体。
主权项：1.一种气体注入模块，包括：注入块，具有穿过面向彼此的第一表面和第二表面的开口；第一注入部分，安置在所述注入块的内表面上以将第一气体供应到所述开口；以及第二注入部分，安置在所述注入块的所述第一表面和所述第二表面中的面向衬底的表面上以朝向所述衬底注入第二气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： AP系统股份有限公司 气体注入模块和具有气体注入模块的激光设备
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