龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中南大学
摘要：本发明属于纳米材料领域，提出了一种远程熔盐辅助制备ZrO2薄膜的方法及ZrO2薄膜、MIM柔性电容器及其制备方法。本发明采用碳化锆作为锆源，远程双元碱金属卤化物气相分子辅助其挥发，利用环境或基底释放微量氧气辅助生长氧化锆薄膜。所制备的薄膜连续致密、厚度均匀、表面平整，且制备方法简便易操作。此氧化锆薄膜具有高介电常数，是良好的介电层材料，基于此氧化锆薄膜构建了MIM柔性金属‑半导体‑金属型电容器，在300次高强度弯曲状态下，仍保持较稳定的电容性能。
主权项：1.一种远程熔盐辅助制备二维ZrO2薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将石英管水平放置，将锆源置于所述石英管的中心恒温区，将卤化物助熔剂置于所述石英管的上游低温区；步骤二、将衬底置于所述锆源上方，并将所述衬底与所述锆源的垂直距离设置为3-5mm；步骤三、使用第一流量为Q1的惰性气体通入所述石英管，持续时间为t1；步骤四、对所述石英管进行加热，同时通入第二流量为Q2的惰性气体作为载气，加热至所述石英管的中心恒温区达到温度T1、所述石英管的上游低温区达到温度T2后保温，所述保温时间为t2；步骤五、经过所述保温时间t2后停止对所述石英管加热，并关闭所述第二流量Q2的惰性气体流，将所述石英管自然冷却至室温，即可在衬底上得到连续致密的二维ZrO2薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中南大学 一种远程熔盐辅助制备ZrO2薄膜的方法及ZrO2薄膜、MIM柔性电容器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号