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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，包括经过MCU进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中，PCB板卡同时接受4个能量探头传回来的数据，满足所有光路被采集到数据，数据处理模块反馈回来的电压是四个值，根据得到的数据拟合出一条线性的曲线，把得到的曲线设置为出厂设置，与出厂值进行比较，当激光器产生衰减时，同样的功率，照射的能量会衰减，此时反馈回来的电压值，也会降低，做一个对比完成自检，该用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，解决了现有技术极大地影响了生产效率，不仅会浪费很多的人力，并且影响了生产的时间，造成成本过大的问题。
主权项：1.一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1：激光器出光经过光路后到达能量采集装置中的能量探头反光镜，经过反光镜衰减功率后到达PD；S2：电流信号传入到信号处理装置中的板卡，通过运算放大器U9A把电流信号转换为电压信号；S3：通过运算放大器U9B进行放大信号后进入模数转化芯片，转为数字量信号，传入到MCU；S4：经过MCU进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中，PCB板卡同时接受4个能量探头传回来的数据，满足所有光路被采集到数据；S5：数据处理模块反馈回来的电压是四个值，根据得到的数据拟合出一条线性的曲线，把得到的曲线设置为出厂设置，与出厂值进行比较，当激光器产生衰减时，同样的功率，照射的能量会衰减，此时反馈回来的电压值，也会降低，做一个对比完成自检。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法
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