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申请/专利权人:ASML荷兰有限公司
摘要:公开了一种用于保持物体的载物台,该载物台包括:被布置为将物体夹持在载物台上的静电夹具;被布置为中和静电夹具的残余电荷的中和器;被布置为控制中和器的控制单元,其中残余电荷是在没有电压被施加到静电夹具时存在于静电夹具上的静电荷。
主权项:1.一种用于保持物体的载物台,包括:静电夹具,被配置为将所述物体夹持在所述载物台上;卸载单元,被配置为将所述物体从所述载物台卸载;以及中和器,被配置为至少部分地中和所述静电夹具的电荷,其中所述中和器被配置为在所述卸载单元正在卸载所述物体时至少部分地中和所述电荷;传感器,用于基于所述物体的移动获得关于所述电荷的信息,其中所述传感器被配置为提供与在第一状态中的所述物体和在第二状态中的所述物体相关联的测量,其中在所述第一状态中,所述物体在所述载物台上,并且其中在第二状态中,所述物体离开所述载物台。
全文数据:
权利要求:
百度查询: ASML荷兰有限公司 包括静电夹具的载物台
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