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申请/专利权人：武汉飞恩微电子有限公司

摘要：一种制造成本较低的压差传感器，其包括：第一壳体，其上开设有用于引入压力介质且左右间隔的两个压力引入口；朝下密封地连接至第一壳体并与之围成一安装腔的第二壳体；朝下密封地连接至第一壳体且设置于安装腔内的座体，其下侧与第一壳体围成两个分别朝下对应两个压力引入口的两个隔膜组件安装腔，其上侧与第二壳体围成一电子模块组件安装腔，其上开设有连通第二壳体上、下表面并与两个压力引入口一一对应设置的两个通孔，其中的一个通孔的下端扩大形成第一凹腔；两个隔膜组件；设置于电子模块安装腔内的电子模块组件；两端分别密封地连通于两个通孔上端的连接管；固定于第一凹腔的压力芯片；及数个连接端子。

主权项：1.一种压差传感器，其特征在于，包括：一第一壳体2，其上开设有用于引入压力介质且左右间隔的两个压力引入口21；朝下密封地连接至第一壳体2并与之围成一安装腔的一第二壳体1；朝下密封地连接至第一壳体2且设置于安装腔内的一座体3，其下侧与第一壳体围成两个分别朝下对应两个压力引入口21的两个隔膜组件安装腔，其上侧与第二壳体1围成一电子模块组件安装腔，其上开设有连通第二壳体1上、下表面并与两个压力引入口21一一对应设置的两个通孔30a，其中的一个通孔30a的下端扩大形成第一凹腔3b；一一对应地设置于两个隔膜组件安装腔内的两个隔膜组件4，包括一金属隔膜41，其与第二壳体1之间围成腔室4b，腔室4b上侧与通孔30a对应连通，金属隔膜41密封地隔断于腔室4b下侧与压力引入口21之间；设置于电子模块安装腔内的电子模块组件7，其通过固定于第二壳体1上的数个接插件端子12b连接至外部设备；两端分别密封地连通于两个通孔30a上端的连接管8，腔室4b、通孔30a、第一凹腔3b及连接管8的内腔连通形成导压液填充空间；固定于第一凹腔3b的一压力芯片6，其封堵于相应通孔30a之下端并将导压液填充空间隔断为第一部分与第二部分，第一部分与第二部分各自与一导压液40b注入孔32的下端连通，导压液40b注入孔32的上端封堵有密封体31；及数个连接端子72，其下端密封地穿过座体3后延伸至第一凹腔3b内并与压力芯片6形成电连接，其上端电连接至电子模块组件7。

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