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申请/专利权人：苏州美图半导体技术有限公司
摘要：本实用新型涉及一种生物芯片显影装置，属于芯片显影设备的技术领域。它包括外壳，所述外壳的顶部设置顶板，所述顶板上设置工作槽，所述工作槽是内部中空的腔体结构，所述工作槽内安装有托盘，在工作槽底部设置排废液口，所述托盘上安装晶圆样片；所述晶圆样片的上方设置显影喷头组件；所述显影喷头组件顶部与连杆组件连接，所述连杆组件穿过导向槽后与导向块相接，所述导向块与导轨之间滑动配合，导向块带动连杆组件沿着导向槽做水平往复运动。本实用新型在喷淋时全面覆盖到样品的范围，保证显影液喷淋的均匀性，使显影效果更好。
主权项：1.一种生物芯片显影装置，其特征在于，包括：外壳1，所述外壳1的顶部设置顶板2，所述顶板2上形成有内凹的工作槽3；所述工作槽3底部设置有排废液口20；托盘9，所述托盘9安装于所述工作槽3内，所述托盘9被配置为安装晶圆样片17；导向槽8，所述导向槽8形成于所述顶板2上并平行于所述工作槽3的长度方向；导向组件，所述导向组件包括导向块10与导轨11，所述导轨11设置于所述导向槽8下方并平行于所述导向槽8，所述导向块10滑动连接于导轨11；至少一个显影喷头组件4，所述显影喷头组件4位于所述托盘9的上方；至少一个连杆组件5，所述连杆组件5的一端穿过导向槽8并与导向块10相接，另一端连接于显影喷头组件4；所述导向块10被配置为带动连杆组件5沿导向槽8的长度方向进行往复运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州美图半导体技术有限公司 生物芯片显影装置
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