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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：气体输送装置包含入口部分及出口部分。入口部分可包含配置成从气体源接收气体的多个入口端口。入口部分还可包含与多个入口端口相关的相应的多个锥状表面。多个锥状表面中的每个锥状表面环绕多个入口端口的相应的入口端口。出口部分可配置成将气体输送至处理室的气体喷头。多个锥状表面中的每个锥状表面可包含第一区域及第二区域。第一区域与第一曲率相关。第二区域与第二曲率相关。第一曲率可以不同于第二曲率。
主权项：1.一种气体输送装置，其包括：入口部分，所述入口部分包含：多个入口端口，其被配置成从气体源接收气体；以及相应的多个锥状表面，其与所述多个入口端口相关，所述多个锥状表面中的每个锥状表面环绕所述多个入口端口的相应的入口端口；以及出口部分，所述出口部分配置成将所述气体输送至处理室的气体喷头。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 远程等离子体清洁(RPC)输送入口适配器
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