龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州美图半导体技术有限公司
摘要：本实用新型涉及一种蒸发回流法制备PGMEA凹面镜装置，它在底板上设置升降台，升降台的滑动端与上加热腔连接，上加热腔底部一体化设置连接板，连接板底部安装下加热腔，连接板上开设透气孔，上加热腔顶部设置盖板；下加热腔内设置PGMEA蒸发皿，并在PGMEA蒸发皿底部匹配安装下加热器；上加热腔内设置样品夹具，样品夹具中部位置对样品夹持，并在样品夹具外边缘设置渗透孔，样品夹具底部匹配安装上加热器；下加热腔内PGMEA蒸发皿被加热后的PGMEA蒸汽依次穿过连接板上的透气孔和样品夹具外边缘的渗透孔后落在样品的上表面。本实用新型监测并控制上下腔体之间不同加热温度，使PGMEA蒸汽落在样品表面并凝聚凹面镜结构。
主权项：1.一种蒸发回流法制备PGMEA凹面镜装置，其特征在于，包括：底板1，所述底板1上设置升降台2，所述升降台2上设有滑动件，所述滑动件被配置为沿所述升降台2的长度方向滑动；加热皿，所述加热皿连接于所述滑动件；所述加热皿内形成有上加热腔6与下加热腔4，所述加热皿内部设置有连接板5，所述连接板5被配置为分隔所述上加热腔6与所述下加热腔4；所述连接板5上设有多个透气孔；盖板7，所述盖板7设置于所述上加热腔6顶部；PGMEA蒸发皿11，所述PGMEA蒸发皿11设于下加热腔4内；所述PGMEA蒸发皿11底部安装有下加热器9；样品夹具13，所述样品夹具13设于所述上加热腔6内；所述样品夹具13的外边缘设置有渗透孔14，所述样品夹具13的底部安装有上加热器15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州美图半导体技术有限公司 蒸发回流法制备PGMEA凹面镜装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号