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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明公开了一种大幅宽激光清洗装置，用于激光清洗技术领域，包括：激光器，用于产生主激光；清洗头，包括：透镜组、准直器、分光镜组、振镜组和场镜组；所述主激光依次经过所述透镜组、所述准直器、所述分光镜组分为至少两束分激光，至少两束分激光入射所述振镜组，其中所述振镜组包括第一振镜组和第二振镜组，第二振镜组与第一振镜组振动方向垂直；所述第二振镜组的出射激光经过所述场镜组，将平行光聚焦于工作面。本发明公开提供了一种大幅宽激光清洗装置和方法，解决了单一场镜视场对扫描区域的限制，极大的增加了激光清洗区域，可以有效提高激光清洗效率，采用一束激光分光的方法，使得系统更为紧凑。
主权项：1.一种大幅宽激光清洗装置，其特征在于，包括：激光器，用于产生主激光；清洗头，包括：透镜组、准直器、分光镜组、振镜组和场镜组；所述主激光依次经过所述透镜组、所述准直器、所述分光镜组分为至少两束分激光，至少两束分激光入射所述振镜组，其中所述振镜组包括第一振镜组和第二振镜组，第二振镜组与第一振镜组振动方向垂直；所述第二振镜组的出射激光经过所述场镜组，将平行光聚焦于工作面；还包括：机械运动模块，所述机械运动模块带动所述激光器和所述清洗头在工作面上移动；所述振镜组用于使激光在工作面上按照特定方式二维振动，所述振镜组包含n组振镜，n为光束数量，每组振镜包含2个振动方向相互垂直的振镜，其中，第一振镜组沿机械运动模块方向振动，第二振镜组与第一振镜组振动方向垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大幅宽激光清洗装置和方法
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