买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：合肥工业大学

摘要：本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统，由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，在固定单元中采用平行双光束法实现测量，利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度；在移动测量单元中采用刀刃边缘反射镜作为感测转换元件；当移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时，刀刃边缘反射镜的刀刃反射边缘切割测量光束，改变反射光束光强，并由光电探测器检测获得光强变化信息，依此实现垂直直线度和滚转角误差的高精度测量。

主权项：1.一种直线度和滚转角误差同时测量系统，其特征是由固定单元1和移动测量单元2构成收发一体式结构，采用平行双光束法实现测量；所述固定单元1安装在固定平面上，所述移动测量单元2安装在移动工作台上；在所述固定单元1中利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度，在所述移动测量单元2中采用刀刃边缘反射镜202作为感测转换元件；在移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时，刀刃边缘反射镜202的刀刃反射边缘切割测量光束，改变反射光束光强，并由光电探测器检测获得光强变化信息，依此实现垂直直线度和滚转角误差的测量；所述固定单元1包括激光器101、偏振分光棱镜102、四分之一波片103、第二聚焦透镜108、第三聚焦透镜111、组合棱形棱镜106、第一分光棱镜107、第二分光棱镜110、第一光电探测器109、第二光电探测器112、第一吸光片115、第二吸光片116和第三吸光片117；所述移动测量单元2为刀刃边缘反射镜202；所述激光器101的出射光以线偏振光态入射偏振分光镜102、经偏振分光镜102的透射形成第一P偏振光，并经偏振分光镜102的反射形成第一S偏振光；所述第一S偏振光经四分之一波片103变成圆偏振光，所述圆偏振光经组合棱形棱镜106产生相互平行的第一光束和第二光束；所述第一光束经第一分光棱镜107透射在刀刃边缘反射镜202的反射边缘形成第一测点203，第二光束经第二分光棱镜110透射在刀刃边缘反射镜202的反射边缘形成第二测点204，以所述刀刃边缘反射镜202作为测量直线度误差和滚转角误差的感测转换元件；在第一测点203处经刀刃边缘反射镜202反射形成第一测量光束113；在第二测点204处经刀刃边缘反射镜202反射形成第二测量光束114；所述第一测量光束113经第一分光棱镜107反射，再经第二聚焦透镜108入射第一光电探测器109；所述第一测量光束113经第一分光棱镜107透射，再经组合棱形棱镜106分成第三光束和第四光束，所述第三光束经四分之一波片103形成第二P偏振光后透射经过偏振分光镜102由第一吸光片115吸收，所述第四光束由第二吸光片116吸收；所述第二测量光束114经第二分光棱镜110反射，再经第三聚焦透镜111入射第二光电探测器112；所述第二测量光束114经第二分光棱镜110透射，再经组合棱形棱镜106分成第五光束和第六光束，所述第五光束经四分之一波片103形成第三P偏振光后透射经过偏振分光镜102被第一吸光片115吸收，所述第六光束被第三吸光片117吸收；依据所述第一光电探测器109和第二光电探测器112光强检测信号求解获得移动工作台垂直直线度误差和滚转角误差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥工业大学 一种直线度和滚转角误差同时测量系统