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一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统及方法 

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申请/专利权人:贵州金哲仪器有限公司

摘要:本发明涉及应力检测技术领域,尤其涉及一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统及方法,包括光束发射模块,用于向待测的样品提供平行光束;偏振控制模块,用于对入射的平行光束进行偏振设定和经样品反射的平行光束进行相位变化检测;图像采集模块,用于采集样品反射后偏振平行光束的光学图像,覆盖样品的大面积;数据处理模块,将采集到的光学图像进行数据处理,对应获得待测的样品的大面积应力数据。通过成像椭偏传感技术,对金属样品表面或者光学元件表面的反射光偏振状态进行实时捕捉与图像记录,随后运用先进的数据处理算法,直接从所采集的光学图像中快速提取出样品的内应力分布信息,显著提升了检测效率。

主权项:1.一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统,其特征在于:包括,光束发射模块100,用于向待测的样品500提供平行光束;偏振控制模块200,用于对入射的平行光束进行偏振设定和经样品反射的平行光束进行相位变化检测;图像采集模块300,用于采集经样品500反射后偏振平行光束的光学图像,覆盖所述样品500的大面积;数据处理模块400,将采集到的光学图像进行数据处理,对应获得待测的所述样品500的大面积应力数据。

全文数据:

权利要求:

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