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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：在一示例中，所公开的装置的一实施方案描述了一种用于支撑衬底的衬底接触环，该衬底接触环包含外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底。所述外围结构包含基本平坦的环形部和与所述基本平坦的环形部机械耦合的接触指的间隔阵列。所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘。所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，并且所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑或从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。公开了其他装置和方法。
主权项：1.一种用于从衬底接触环移除衬底的方法，所述方法包含：将机械手的末端执行器定位成接触所述衬底；将所述末端执行器和所述衬底移动至预定的z-偏移位置；测量施加在所述末端执行器的力矩水平；确定所测量的力矩水平是否大于力矩的预定目标值；基于确定所测量的力矩水平大于力矩的预定目标值：等待预定的时间长度；再测量被施加在所述末端执行器的额外的力矩水平；以及基于确定再测量的所述额外的力矩水平大于力矩的预定目标值，显示错误消息；以及基于确定所测量的力矩水平等于或不大于力矩的预定目标值，持续移动所述末端执行器和所述衬底额外的z-偏移距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 衬底粘附和破损的减轻
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