龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
摘要：本申请属于半导体技术领域，公开了一种基于锗硅多雪崩层的绝缘体上锗系SPADs传感器结构及其制备方法，包括：传感器晶圆、钝化层、N型电极、P型电极和读出电路；传感器晶圆包括依次叠加的热氧层、反射镜、氧化铝层、P型重掺杂锗层、本征锗传感层、本征锗量子阱传感层、P型电荷层、本征锗硅多雪崩层和N型重掺杂锗层；传感器晶圆还包括多个以预设间隔分布的矩形凹槽；钝化层覆盖在N型重掺杂锗层和各矩形凹槽的内壁上；N型电极设于矩形凹槽内，穿过钝化层连接P型重掺杂锗层；P型电极穿过钝化层连接N型重掺杂锗层；读出电路分别连接N型电极和P型电极。本申请可以移除晶格失配缺陷，降低传感器的暗电流、暗计数率及雪崩击穿电压。
主权项：1.一种基于锗硅多雪崩层的绝缘体上锗系SPADs传感器结构，其特征在于，包括：传感器晶圆、钝化层、N型电极、P型电极和读出电路；所述传感器晶圆包括依次叠加的热氧层、反射镜、氧化铝层、P型重掺杂锗层、本征锗传感层、本征锗量子阱传感层、P型电荷层、本征锗硅多雪崩层和N型重掺杂锗层；所述本征锗硅多雪崩层为锗硅超晶格层结构或锗硅多量子阱结构；所述本征锗硅多雪崩层的总厚度范围为0.1-3微米，势垒层厚度范围是3-10纳米，势阱层厚度范围是5-30纳米；所述本征锗硅多雪崩层的周期数为60-400个，单个周期的厚度范围为8-40纳米；所述本征锗硅多雪崩层的硅含量为0-30%；所述P型电荷层为P型锗电荷层或P型锗硅电荷层；所述传感器晶圆还包括多个形状相同，并以预设间隔分布的矩形凹槽；所述矩形凹槽依次贯穿所述N型重掺杂锗层、所述本征锗硅多雪崩层、所述P型电荷层、所述本征锗量子阱传感层、所述本征锗传感层和所述P型重掺杂锗层；所述钝化层均匀覆盖在所述N型重掺杂锗层和各所述矩形凹槽的内壁上；所述N型电极设于所述矩形凹槽内，穿过所述钝化层连接所述P型重掺杂锗层；所述P型电极穿过所述钝化层连接所述N型重掺杂锗层；所述读出电路分别连接所述N型电极和所述P型电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 一种基于锗硅多雪崩层的绝缘体上锗系SPADs传感器结构及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号