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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明提供一种半导体激光器芯片远场发散角的检测装置及检测方法，装置包括载物台、舵机、光电探测器、光电探测器支架。载物台用于承载和固定被测半导体激光器芯片及为半导体激光器芯片实现供电、散热功能的PCB板；舵机的转轴与载物台连接，带动载物台实现半导体激光器芯片的旋转扫描；光电探测器读取激光器芯片的出光光强。测量时，首先将载物台水平方向螺孔同舵机转轴连接，舵机步进旋转，测试半导体激光器芯片水平方向的远场发散角；然后将载物台垂直方向螺孔同舵机转轴连接，舵机步进旋转，再测试半导体激光器芯片垂直方向的远场发散角。该发明测试装置简单，成本低廉；测试方法简单易行，具有较高准确性，适用范围广泛。
主权项：1.一种半导体激光器芯片远场发散角的检测装置，其特征在于，包括：载物台，所述载物台用于固定PCB板，所述PCB板上安装被测半导体激光器芯片，所述载物台用于实现将半导体激光器芯片旋转90°后依然保证出光端面位置不发生改变；舵机，所述舵机通过转轴与载物台连接，所述舵机与计算机信号连接，以根据计算机馈送的控制信号以设定角度为步长步进转动，带动载物台实现半导体激光器芯片的旋转扫描，并将角度位置信息实时馈送至所述计算机；光电探测器，所述光电探测器与所述计算机信号连接，以探测半导体激光器芯片端面出射光强，并将光强信号转化为电信号馈送至所述计算机；光电探测器支架，所述光电探测器支架上固定有所述光电探测器，用于调节光电探测器的高度和位置，使得光电探测器的感光面正对舵机回中位置半导体激光器芯片的出光端面。
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百度查询： 华中科技大学 一种半导体激光器芯片远场发散角的检测装置及检测方法
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