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申请/专利权人：中科(洛阳)机器人与智能装备研究院
摘要：一种腔衰荡光谱仪器的明暗场腔镜缺陷检测装置及方法，装置包括激光光源、照明光学系统、腔镜位移台、暗场收集镜组、暗场探测相机、暗场自动对焦系统、明场收集镜组、明场探测相机、明场自动对焦系统、明暗场图像处理及缺陷分析系统，通过合理搭建明暗场成像的光学系统，通过融合明场暗场检测方法的优势，使用明场成像的原理检测大缺陷，使用暗场成像的方式检测小缺陷，两种检测方案共用一套光源与照明系统，腔镜完成一次扫描，反射光与散射光分别进入两套收集系统可以实现大量级缺陷和小量级缺陷信息的同时获取，实现了腔镜缺陷由百微米至亚微米量级缺陷的高精度高效率检测。
主权项：1.一种腔衰荡光谱仪器的明暗场腔镜缺陷检测装置，其特征在于：包括：激光光源（1），其为发射单波长、窄线宽、单偏振p光的紫外光源；照明光学系统（2），接收激光光源（1）射出的光束，向腔镜（4）待测表面发射出入射光，入射光与腔镜待测表面法线方向之间的夹角为60°-80°；腔镜位移台（3），包括夹持腔镜侧面的腔镜夹持机构（301）和带动腔镜xy方向移动的腔镜位移机构（302），腔镜夹持机构（301）安装在腔镜位移机构（302）上；暗场收集镜组（8），接收腔镜（4）散射光，其光轴为腔镜（4）待测表面法线方向；暗场探测相机（9），采集通过暗场收集镜组（8）后的散射场图像；暗场自动对焦系统（10），在腔镜（4）在xy方向移动过程中，控制腔镜（4）待测表面位于暗场收集镜组（8）焦面；明场收集镜组（5），接收腔镜（4）反射光，其光轴为入射光在腔镜（4）待测表面的反射方向；明场探测相机（6），采集通过明场收集镜组（5）后的反射场图像；明场自动对焦系统（7），在腔镜（4）在xy方向移动过程中，控制腔镜（4）待测表面位于明场收集镜组（5）焦面；明暗场图像处理及缺陷分析系统（11），与暗场探测相机（9）和明场探测相机（6）连接，处理暗场探测相机（9）和明场探测相机（6）的采集图像，得出腔镜缺陷信息。
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权利要求：
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