龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖北大学
摘要：本发明提供了一种大尺寸掺杂Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜的制备方法，该方法为：先用多种乙酰丙酮盐配制溶胶，然后进行薄膜衬底的清洗，将清洗干净的衬底放入匀胶机中央，将得到的溶胶旋涂在清洗干净的衬底上，然后进行烘烤预退火，再将预退火薄膜进行退火，得到大尺寸掺杂Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜。本发明中溶胶凝胶法作为一种操作简单的方法，同时化学计量准确、掺杂范围广、制备温度低且成本较低，为大批量制备Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜材料提供了新思路。
主权项：1.一种大尺寸掺杂Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：S1、溶胶的配置：将乙酰丙酮铪、乙酰丙酮锆和乙酰丙酮盐溶于溶剂中，并加热搅拌，然后进行老化，得到溶胶；S2、清洗衬底：将薄膜衬底先用丙酮超声清洗，然后用酒精超声清洗，再用去离子水超声清洗，最后用氮气吹干，得到清洗干净的衬底；S3、薄膜的旋涂：将S2中得到的清洗干净的衬底放入匀胶机中央，在一定转速下，将S1中得到的溶胶旋涂到所述清洗干净的衬底上，每旋涂一层薄膜，就进行一次预退火，重复旋涂一层薄膜和预退火步骤，直至得到所需厚度的预退火薄膜；S4、薄膜的退火：将S3中得到的预退火薄膜进行退火，得到大尺寸掺杂Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北大学 一种大尺寸掺杂Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号