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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本发明涉及具有背面照明的分段检测器装置。所述检测器能够收集且区分二次电子与背向散射的电子。所述检测器包含用于主要电子束通过的通孔。命中样本后，所述经反射的二次电子及背向散射的电子经由垂直结构收集，所述结构具有P+P‑N+或N+N‑P+组成物，用于穿过所述装置的厚度的完全耗尽。使用经定位于所述装置前侧的场隔离绝缘体对所述装置的有源区域进行分段。
主权项：1.一种固态装置，所述装置包括：垂直结构，其包括N+P-P+或P+N-N+结构，用于穿过所述装置的厚度的完全耗尽，所述N+P-P+或P+N-N+结构包含经形成于所述装置前侧的N+或P+结，位于其中间的P-或N-本征层，及经形成于所述装置背面的P+或N+层；有源区域，其用于收集二次电子SE及背向散射的电子BSE，所述有源区域正在被分段成多个通道，以分离二次电子及背向散射的电子的检测；及通孔，其经放置于所述装置中心内，以允许主要束穿过所述装置，其中所述主要束进入所述装置前侧上的所述通孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于检测二次及背向散射的电子的具有通孔的分段多通道背面照明固态检测器
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