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申请/专利权人：中润新能源(滁州)有限公司
摘要：实用新型属于太阳能电池片生产技术领域，具体的说是一种ALD铝舟匀流板，包括板本体；所述板本体的侧边为弯折结构，所述板本体的弯折边的两平行侧壁上分别开设有内滑孔和外滑孔，将板本体设置为不锈钢材质，为了提升匀流板的强度，通过设置支撑架和橡胶条，在锁紧螺母的配合下，实现对橡胶条两端的固定，在橡胶条上通过锁紧螺钉配合固定有支撑架，能够提升板本体的整体支撑强度，避免板本体的形变，通过设置内滑孔和外滑孔，能够便于支撑架和橡胶条的组合体的装配和位置调整，达到对板本体更好的支撑效果，能够更好的修正匀流板的结构状态，提升匀流板的强度，能够更好的保证薄膜沉积的均匀性。
主权项：1.一种ALD铝舟匀流板，其特征在于：包括：板本体1；所述板本体1的侧边为弯折结构，所述板本体1的弯折边的两平行侧壁上分别开设有内滑孔4和外滑孔6；所述板本体1的弯折内壁之间设置有橡胶条8，所述橡胶条8上外扣有支撑架2；所述橡胶条8的两端均固定有锁紧螺杆7，所述锁紧螺杆7上装配有锁紧螺母5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中润新能源(滁州)有限公司 一种ALD铝舟匀流板
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