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申请/专利权人：南通美精微电子有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆凸块电铸模板加工技术领域，具体为一种晶圆凸块电铸模板加工装置，包括切割台，所述切割台的上端面固定连接有左右分布的连接板和竖板，所述竖板的右侧贯穿连接有两个第一电动伸缩杆，两个所述第一电动伸缩杆的左端贯穿并延伸至竖板的左侧且安装有连接架，所述连接架的下端面固定连接有与切割台上端面紧密贴合的刷毛；所述切割台的内部开设有位于竖板与连接板之间的杂质收集腔，所述杂质收集腔的内部活动连接有收集抽盒，所述切割台的上端面开设有与杂质收集腔连通的开口；进而该装置便于对切割结束后的切割台上端的碎屑杂质自动清理收集，防止残留至切割台上端的碎屑杂质对下一待切割的晶圆凸块电铸模板外壁造成磨损。
主权项：1.一种晶圆凸块电铸模板加工装置，包括切割台1，其特征在于：所述切割台1的上端面固定连接有左右分布的连接板104和竖板3，所述竖板3的右侧贯穿连接有两个第一电动伸缩杆301，两个所述第一电动伸缩杆301的左端贯穿并延伸至竖板3的左侧且安装有连接架302，所述连接架302的下端面固定连接有与切割台1上端面紧密贴合的刷毛303；所述切割台1的内部开设有位于竖板3与连接板104之间的杂质收集腔101，所述杂质收集腔101的内部活动连接有收集抽盒103，所述切割台1的上端面开设有与杂质收集腔101连通的开口102；所述切割台1的上端面安装有位于两个第一电动伸缩杆301之间的液压杆2，所述液压杆2的输出端安装有连接柱201，所述连接柱201的上端面安装有外壳202，所述外壳202的下端面贯穿开设有开槽，所述外壳202的右侧安装有电机203，所述电机203的输出端可拆卸连接有螺纹杆204，所述螺纹杆204的左端贯穿外壳202并通过轴承与外壳202的内部左侧活动连接，所述螺纹杆204的外壁螺纹连接有螺纹座205，所述螺纹座205的下端穿过开槽并安装有激光切割头206。
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