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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种平面绝对面形波面干涉检测装置及其应用方法，本发明平面绝对面形波面干涉检测装置包括波面干涉仪、平面镜头、被测平面镜、转台、直线平移台、角度测量传感器、X向角度传感器反射镜、Y向角度传感器反射镜；本发明方法包括根据角度测量传感器测量X向角度传感器反射镜或Y向角度传感器反射镜的角度以确定直线平移台运动前后的偏航角度变化。本发明旨在实现针对被测平面镜实现平面绝对面形波面干涉检测以保证对被测平面镜的检测精度，具有无理论误差、可同步分离离焦和像散等二阶项误差、像素级高分辨率、仅需2自由度运动、仅需4个不同位置测量结果、装置简单的优点。
主权项：1.一种平面绝对面形波面干涉检测装置，其特征在于，包括波面干涉仪（1）、平面镜头（2）、被测平面镜（3）、转台（4）、直线平移台（5）、角度测量传感器（6）、X向角度传感器反射镜（7）、Y向角度传感器反射镜（8）；所述平面镜头（2）安装于波面干涉仪（1）上，所述被测平面镜（3）安装在转台（4）上，所述转台（4）安装在直线平移台（5）上，所述被测平面镜（3）与平面镜头（2）平行，所述转台（4）的回转轴线与平面镜头（2）垂直，所述直线平移台（5）运动轴线与平面镜头（2）平行且与波面干涉仪（1）图像传感器的像素行平行，所述角度测量传感器（6）出射光束与直线平移台（5）运动轴线平行，所述X向角度传感器反射镜（7）与角度测量传感器（6）的出射光束垂直，所述Y向角度传感器反射镜（8）与X向角度传感器反射镜（7）之间夹角为90度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种平面绝对面形波面干涉检测装置及其应用方法
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