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申请/专利权人：苏州钛阳新材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种制备防结焦涂层的基片用装载工装，包括：支撑底座和设置在所述支撑底座顶部的翻转气缸，以及设置在所述翻转气缸顶部的装载组件；支撑底座固定在合适的位置后，通过推动气缸带动若干负压吸盘上升或下降至合适的装载高度，通过支撑块一侧装载板的若干负压吸盘对基片的吸附，可以对基片提供平稳可靠的装载条件，通过翻转气缸，可以将支撑块另一侧装载板上的若干负压吸盘调换在基片的上，完成调换后，已经吸附基片的若干负压吸盘将基片放下，未吸附基片的若干负压吸盘将基片吸附，往复此过程，可以高效的对基片完成装载工作，进而避免人工长时间装载工作造成的注意力不集中等情况的发生，提高了装置的可靠性。
主权项：1.一种制备防结焦涂层的基片用装载工装，其特征在于，包括：支撑底座1和设置在所述支撑底座1顶部的翻转气缸11，以及设置在所述翻转气缸11顶部的装载组件；所述装载组件包括：设置在所述翻转气缸11输出端的转轴2，固定在所述转轴2顶部的支撑块21，以及设置在所述支撑块21两侧的若干支撑板22；所述支撑板22的顶部设置有推动气缸23，所述推动气缸23位于所述支撑板22底部的一端固定有装载板24，所述装载板24上设置有若干负压吸盘25。
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