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申请/专利权人：河南天璇半导体科技有限责任公司
摘要：本实用新型涉及金刚石生产领域，尤其涉及一种用于MPCVD设备的测温装置。用于MPCVD设备的测温装置，包括测温基座和动力机构，动力机构包括安装第一动力机构，第一动力机构具有用于带动测温仪对不同列的籽晶进行测温的第一动力输出端，第二动力机构具有用于带动测温仪对同一列的不同籽晶进行测温的第二动力输出端。第二动力机构的第二动力输出端会叠加第一动力机构和第二动力机构的运动，使得测温仪具有向不同列的运动和同一列的不同位置的运动，进而能够覆盖所摆放的金刚石的全部位置，进而解决了现有技术中采用人工进行测温仪的角度调整导致人员劳动强度大以及存在安全隐患的问题。
主权项：1.一种用于MPCVD设备的测温装置，其特征在于：包括用于固定设置在MPCVD设备的腔体上的测温基座和用于驱动测温仪（6）自动动作的动力机构，动力机构包括安装在测温基座上的第一动力机构，第一动力机构具有用于带动测温仪（6）对不同列的籽晶进行测温的第一动力输出端，动力机构还包括安装在第一动力输出端上的第二动力机构，第二动力机构具有用于带动测温仪（6）对同一列的不同籽晶进行测温的第二动力输出端，第二动力输出端具有用于安装测温仪（6）的测温仪安装结构，所述第一动力输出端为用于输出摆动动作的摆动输出端或第一动力机构设置为直动动作机构，所述第二动力输出端为用于输出摆动动作的摆动输出端或第二动力机构为直动动作机构，所述测温基座包括安装基板，所述安装基板包括可拆连接在一起的第一安装基板（71）和第二安装基板（72），第一动力机构安装在第一安装基板（71）或第二安装基板（72）上，第一安装基板（71）和第二安装基板（72）上分别设置有弧形缺口，以共同拼合成用于套设并固定在MPCVD设备的顶盖（11）的缩径段外周的安装孔。
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权利要求：
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