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申请/专利权人：TDK株式会社
摘要：本发明的技术问题在于，提供一种抑制碎片、微粒、裂纹等的子载体晶圆。该子载体晶圆是激光模块用的子载体晶圆，其具备：晶圆、和设置于上述晶圆的主面上的多个保护层，所述多个保护层分开地排列，所述晶圆的主面的一部分露出。
主权项：1.一种子载体晶圆，是激光模块用的子载体晶圆，具备：晶圆；以及多个保护层，它们设置于所述晶圆的主面，所述多个保护层分开地排列，所述晶圆的主面的一部分露出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： TDK株式会社 子载体晶圆、子载体、激光模块、光学引擎模块、XR眼镜、及子载体晶圆的制造方法
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