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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种终点检测耦合调节机构、方法及半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，终点检测耦合调节机构包括：底座；光电转换单元，设置在底座上，光电转换单元的侧面设置有光信号采集端；滑块，设置在底座上，滑块能够沿光信号采集端的延伸方向滑动，滑块上设置有与光信号采集端相对应的光纤接头，光纤接头用于固定传输半导体工艺设备的反应腔室内的光谱信号的光纤的一端，光信号采集端用于接收光谱信号，光电转换单元用于将光谱信号转换为电信号，电信号用于计算光谱信号的光谱强度；驱动单元，用于根据光谱强度驱动滑块在底座上滑动，以调节光纤接头与光信号采集端之间的距离；实现方便地对光谱强度的调节。
主权项：1.一种终点检测耦合调节机构，其特征在于，包括：底座；光电转换单元，设置在所述底座上，所述光电转换单元的侧面设置有光信号采集端；滑块，设置在所述底座上，所述滑块能够沿所述光信号采集端的延伸方向滑动，所述滑块上设置有与所述光信号采集端相对应的光纤接头，所述光纤接头用于固定传输半导体工艺设备的反应腔室内的光谱信号的光纤的一端，所述光信号采集端用于接收所述光谱信号，所述光电转换单元用于将所述光谱信号转换为电信号，所述电信号用于计算所述光谱信号的光谱强度；驱动单元，用于根据所述光谱强度驱动所述滑块在所述底座上滑动，以调节所述光纤接头与所述光信号采集端之间的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种终点检测耦合调节机构、方法及半导体工艺设备
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