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申请/专利权人：中电科风华信息装备股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体产品加工设备技术领域，具体涉及一种柔性产品贴胶背膜分离装置及FOF邦定机，主要解决现有ACF背膜分离机构容易将COF连带拔起的技术问题。柔性产品贴胶背膜分离装置包括机架、下压头和分离机构，下压头固定于机架上，下压头设有若干延伸至其顶面的吸附孔，所有吸附孔形成带状的吸附区，且下压头的顶面预留有空区，分离机构包括移动块，移动块上安装有Y向布置的剥离轴，移动块上还设有若干延伸至其底面的吹气孔，移动块向前滑动时吹气孔向空区位于剥离轴前侧的区域吹气。本装置通过吸附和吹气两方面配合，能够在分离机构剥离背膜时，有效避免背膜被连带拔起，从而保证分离成功，也避免因COF弯折导致的引线受损。
主权项：1.一种柔性产品贴胶背膜分离装置，其特征在于，包括：机架（1），其固定设置；下压头（2），其固定于所述机架（1）上，所述下压头（2）设有若干延伸至其顶面的吸附孔，所有吸附孔形成带状的吸附区（21），所述吸附区（21）的长度方向沿X向布置，且所述下压头（2）的顶面预留有位于所述吸附区（21）Y向一侧的空区（22）；分离机构（3），其包括移动块（31），所述移动块（31）安装在所述机架（1）上且能沿X向滑动，所述移动块（31）上安装有Y向布置的剥离轴（32），所述移动块（31）上还设有若干延伸至其底面的吹气孔（33），所述移动块（31）向前滑动时所述吹气孔（33）向所述空区（22）位于所述剥离轴（32）前侧的区域吹气且所述剥离轴（32）将搭接在剥离轴（32）上的背膜（600）逐渐分离。
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