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申请/专利权人：应用材料股份有限公司
摘要：本申请涉及一种具有隔热斥拒极的离子源、在离子源中使用的隔热斥拒极以及电极。斥拒极包括斥拒极盘及多个轮辐，所述多个轮辐起始于斥拒极盘的后表面且终止于柱。在某些实施例中，柱在其长度的至少一部分上可为中空的。使用轮辐而非中心杆可减少从斥拒极盘到柱的热传导。通过并入中空柱，热传导被进一步降低。此种配置可将斥拒极盘的温度增加多于100℃。在某些实施例中，在斥拒极盘的后表面上设置有辐射屏蔽体，以减少从斥拒极盘的侧面发射的辐射量。此也可有助于增加斥拒极的温度。类似的设计可用于离子源中的其他电极。
主权项：1.一种在离子源中使用的斥拒极，包括：斥拒极盘，适于设置在所述离子源内，具有厚度、前表面、后表面、外边缘、及中心轴线；柱，用于附接到夹具；及多个轮辐，从所述柱向外延伸到所述斥拒极盘，且在与所述斥拒极盘的所述中心轴线不同的位置处接触所述斥拒极盘的所述后表面，其中所述斥拒极盘、所述柱及所述多个轮辐为整体式组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料股份有限公司 离子源、在离子源中使用的隔热斥拒极以及电极
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