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申请/专利权人：四川遂宁市利普芯微电子有限公司
摘要：本申请提供了一种划片机的清洗机构，涉及喷水清洗技术领域，包括工作台、设置在工作台顶部的承载盘以及支撑架，移动机构包括设置在支撑架侧壁的电机、设置在电机输出端的丝杠、能在丝杠作用下沿其轴向移动的移动板、若干转动设置在移动板底部的转动柱以及设置在转动柱底部的喷头，移动板还与支撑架滑动连接，喷水机构包括设置在移动板顶部的水箱、设置在水箱侧壁的水泵以及在水泵输入端的进水管以及设置在转动柱与水箱之间的连接件，转动柱与喷头内部设有相互连通的流动腔，且喷头底部设有多个角度的出水孔。本申请能够对切割后的晶圆表面进行冲洗干净彻底，提高晶圆被切割后的芯片质量。
主权项：1.一种划片机的清洗机构，包括工作台1、设置在工作台1顶部的承载盘101以及支撑架2，其特征在于，还包括：移动机构，所述移动机构包括设置在支撑架2侧壁的电机3、设置在电机3输出端的丝杠301、能在丝杠301作用下沿其轴向移动的移动板4、若干转动设置在移动板4底部的转动柱6以及设置在转动柱6底部的喷头7，所述移动板4还与支撑架2滑动连接；以及喷水机构，所述喷水机构包括设置在移动板4顶部的水箱5、设置在水箱5侧壁的水泵8、设置在水泵8输入端的进水管801以及设置在转动柱6与水箱5之间的连接件，所述转动柱6与喷头7内部设有相互连通的流动腔，且所述喷头7底部设有多个角度的出水孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川遂宁市利普芯微电子有限公司 一种划片机的清洗机构
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