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一种高灵敏度色散光检测光学系统 

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申请/专利权人:长宜光科(苏州)技术有限公司

摘要:本申请涉及一种高灵敏度色散光检测光学系统,包括沿光路依次设置的第一透镜、体积相位全息光栅、反射镜、至少一个第二透镜、可变狭缝光阑、及检测器;体积相位全息光栅安装在第一旋转装置上,第一旋转装置驱动体积相位全息光栅旋转,以改变光路入射至体积相位全息光栅的角度;反射镜安装在第二旋转装置上,第二旋转装置驱动反射镜旋转,以将光路反射进入可变狭缝光阑。第一旋转装置驱动体积相位全息透射光栅旋转,以改变复色光入射至体积相位全息光栅的角度,色散光的衍射效率峰值随之变化,可使得需要被检测的任意波长的色散光高效衍射,提高衍射效率,反射镜将色散光反射至可变狭缝光阑最终进入检测器,实现对色散光的高灵敏度检测。

主权项:1.一种高灵敏度色散光检测光学系统,其特征在于,包括沿光路依次设置的第一透镜、体积相位全息光栅、反射镜、至少一个第二透镜、可变狭缝光阑、及检测器;其中,所述体积相位全息光栅安装在第一旋转装置上,所述第一旋转装置驱动所述体积相位全息光栅旋转,以改变光路入射至所述体积相位全息光栅的角度;所述反射镜安装在第二旋转装置上,所述第二旋转装置驱动所述反射镜旋转,以将光路反射进入所述可变狭缝光阑并照射所述检测器。

全文数据:

权利要求:

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