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一种高精度激光焦点实时跟随系统 

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申请/专利权人:苏州海杰兴科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种高精度激光焦点实时跟随系统。包括宏动调整机构、微动调整机构和控制模块,所述宏动调整机构包括第一伺服电机、传动执行结构、光栅尺,第一伺服电机与传动执行结构连接,传动执行结构两侧分别设置有光栅尺,第一伺服电机与光栅尺采用双闭环控制方式控制传动执行结构;所述微动调整机构包括物镜调整机构、测距机构,物镜调整机构设置在传动执行结构上,测距机构设置在物镜调整机构上;所述控制模块分别与宏动调整机构、微动调整机构电连接;根据晶圆厚度通过宏动调整机构调节激光焦点高度,根据测距机构的测量数据,控制模块控制物镜调整机构实时调节激光焦点位置,使激光焦点与晶圆表面等距。本发明加工效率和加工精度高。

主权项:1.一种高精度激光焦点实时跟随系统,其特征在于:包括宏动调整机构、微动调整机构和控制模块,所述宏动调整机构包括第一伺服电机、传动执行结构、光栅尺,第一伺服电机与传动执行结构连接,传动执行结构两侧分别设置有光栅尺,第一伺服电机与光栅尺采用双闭环控制方式控制传动执行结构;所述微动调整机构包括物镜调整机构、测距机构,物镜调整机构设置在传动执行结构上,测距机构设置在物镜调整机构上;所述控制模块分别与宏动调整机构、微动调整机构电连接;根据晶圆厚度通过宏动调整机构调节激光焦点高度,根据测距机构的测量数据,控制模块控制物镜调整机构实时调节激光焦点位置,使激光焦点与晶圆表面等距。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州海杰兴科技股份有限公司 一种高精度激光焦点实时跟随系统

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