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申请/专利权人：库力索法荷兰有限公司
摘要：本申请提供了分立组件向基板上的并行组装。一种方法，包括将多个分立组件从第一基板转移至第二基板，其包括：对动态释放层的上表面上的多个区域进行照射，所述动态释放层使所述多个分立组件附着至所述第一基板，这些被照射区域中的各被照射区域与所述分立组件中的相应的一个分立组件对准。所述照射在所述动态释放层的被照射区域中的各被照射区域内引起塑性变形。所述塑性变形使所述分立组件中的至少一些分立组件同时从所述第一基板释放。
主权项：1.一种转移方法，包括：将多个分立组件从第一基板转移至第二基板，包括：将激光束分割成激光能量的小束，照射包括动态释放层的上表面上的多个区域的第一部位，包括利用所述激光能量的小束中的一个或多个激光能量的小束同时照射所述多个区域中的各区域，所述动态释放层使所述多个分立组件附着至所述第一基板，被照射区域中的各被照射区域与所述分立组件中的相应的一个分立组件对准，其中，所述照射在所述被照射区域中的各被照射区域内引起所述动态释放层的至少一部分的烧蚀，所述烧蚀使所述分立组件中的至少一些分立组件同时从所述第一基板释放，以及进行同时照射的所述激光能量的小束的数量能够在第一数量与不同于所述第一数量的第二数量之间切换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 库力索法荷兰有限公司 分立组件向基板上的并行组装
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