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申请/专利权人：芜湖协鑫集成新能源科技有限公司
摘要：本申请公开了一种N型BC电池的制作方法，包括如下步骤：S1，N型硅片清洗，双面抛光，水洗以及热烘干；S2，表面生长隧穿氧化层及本征poly层；S3，硼扩散，得P‑poly层和BSG层；S4，刻蚀BSG层、P‑poly层及隧穿氧化层，并烘干；S5，清洗；S6，表面再生长隧穿氧化层及本征poly层；S7，磷扩散，得N‑poly层和PSG层；S8，刻蚀PSG层；S9，清洗刻蚀浆料并进行表面清洗；S10，对N型硅片的正面进行各向异性腐蚀，形成金字塔绒面，再刻蚀掉背面P区和N区的BSG层和PSG层并进行后清洗；S11，表面生成钝化层；S12，在N型硅片的背面进行丝网印刷，制备电极，并进行烧结；本申请提成本低且周期短、产能高，提高了电池效率，有利于实现大批量量产。
主权项：1.一种N型BC电池的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，将N型硅片进行表面油污清洗，再进行双面抛光处理，完成后再水洗以及热烘干；S2，控制温度在抛光的N型硅片表面生长一层隧穿氧化层以及一层本征poly层；S3，对N型硅片进行背面硼扩散，得到P-poly层和BSG层；S4，对N型硅片背面N区域印刷上刻蚀浆料，刻蚀BSG层、P-poly层及隧穿氧化层，并烘干；S5，清洗刻蚀浆料并进行表面清洗；S6，控制温度，在清洗完的N型硅片表面再生长一层隧穿氧化层以及一层本征poly层；S7，对N型硅片进行磷扩散，得到N-poly层和PSG层；S8，在N型硅片的P区和gap区印刷刻蚀浆料，刻蚀PSG层，并烘干将PN区进行隔离；S9，清洗刻蚀浆料并进行表面清洗；S10，采用碱溶液对N型硅片的正面进行各向异性腐蚀，形成金字塔绒面，再用酸溶液刻蚀掉背面P区和N区的BSG层和PSG层并进行后清洗，使N型硅片的背面形成PN相交的BC结构；S11，对N型硅片的前后表面进行钝化，生成钝化层；S12，在N型硅片的背面进行丝网印刷，制备电极，并进行烧结。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖协鑫集成新能源科技有限公司 一种N型BC电池的制作方法
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