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申请/专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
摘要：提供了一种能够在向后续工艺部供应固体材料的升华气体时抑制固体材料容器内部的固体材料的残留量的损耗的测量方法。该方法包括：当用升华气体重新填充缓冲罐时：第一残留量计算步骤，其中根据从缓冲罐馈送到后续工艺部的升华气体的消耗量来计算固体材料的残留量；第二残留量计算步骤，其中根据从固体材料容器馈送到缓冲罐的升华气体的移动量来计算固体材料的残留量；和或切换确定步骤，其中根据固体材料容器内部的固体材料的残留量来确定切换时机和异常。
主权项：1.一种升华气体供应方法，包括：供应步骤，其中从缓冲罐向后续工艺部供应升华气体；供应停止步骤，其中停止从该缓冲罐向该后续工艺部供应该升华气体；以及升华气体重新填充步骤，其中在该供应停止步骤期间用该升华气体重新填充该缓冲罐，该升华气体重新填充步骤包括：第一残留量计算步骤，其中根据从该缓冲罐馈送到该后续工艺部的升华气体的消耗量来计算该固体材料的残留量；第二残留量计算步骤，其中根据从固体材料容器馈送到该缓冲罐的升华气体的移动量来计算该固体材料的残留量；和或切换确定步骤，其中根据该固体材料容器内部的固体材料的残留量来确定切换时机和异常。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 固体材料剩余量测量方法、升华气体供应方法和升华气体供应系统
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