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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请涉及半导体工艺设备的自动补液装置及其排空方法。本申请所公开的自动补液装置，通过增设第一吹扫气源、第二吹扫气源、第一吹扫管路、第二排气管路、第一阀门组件，并将之恰当地连接在自动补液装置中的合适位置，使得能够基于该装置完全排空进液管路和储液装置中的残留，避免了因设备中存在易燃性、腐蚀性残留而导致的生产事故，显著提高了生产安全保障，尤其提高了检修更换设备的安全性和便利性。
主权项：1.一种半导体工艺设备的自动补液装置，所述装置包括自动补液液源、进液管路、汽化器、主进气管路、第一排气管路、排气泵，所述进液管路的第一端F1连接所述自动补液液源，所述进液管路的第二端F2连接所述汽化器中储液装置的入口，所述主进气管路的第一端S1连接所述储液装置的出口，所述主进气管路的第二端S2用于连接所述半导体工艺设备的工艺腔室，所述主进气管路上具有K4位置，所述K4位置位于所述汽化器后端，所述第一排气管路的第一端连接至所述主进气管路上的所述K4位置处，所述第一排气管路的第二端连接所述排气泵的抽气端，所述排气泵的排气口用于连接尾气处理装置，其特征在于，所述装置还包括第一吹扫气源、第二吹扫气源、第一吹扫管路、第二排气管路、第一阀门组件，其中：所述第一吹扫气源通过所述第一吹扫管路连接至所述进液管路上的K1位置处，所述K1位置位于所述汽化器前端；所述第二吹扫气源连接至所述进液管路的所述第一端F1；所述第二排气管路的第一端连接至所述进液管路上的K3位置处，所述K3位置位于所述第一端F1和所述K1位置之间，所述第二排气管路的第二端连接所述排气泵的抽气端；所述第一阀门组件设置于所述进液管路上，并位于所述第一端F1和所述K3位置之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备的自动补液装置及其排空方法
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