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离子化设备和质谱仪 

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申请/专利权人:莱宝有限责任公司

摘要:本发明涉及一种离子化设备12,包括:形成在容器11中的离子化空间10;入口系统6,其用于将待离子化的气体2供应到离子化空间10;电子源14,其具有至少一个丝极15a,b,用于将电子束19a供应到离子化空间10;以及出口系统13,其用于使离子化气体2a离开离子化空间10。在丝极15a,b和离子化空间10之间设置电子光学器件16a,b,其包括至少两个电极17a‑c,18a‑c,和或离子化设备12具有真空发生设备21,其被设计成在电子源12的丝极15a,b处产生低于离子化空间10中的压强p的压强pF。本发明还涉及一种用于气体2的质谱分析的质谱仪1,包括:如上所述设计的离子化设备12,以及用于检测已经在离子化设备12中离子化的待分析气体2a的检测器24。

主权项:1.一种离子化设备12,包括:在容器11中形成的离子化空间10,用于将待离子化的气体2供应到离子化空间10的入口系统6,电子源14,具有至少一个丝极15a,b,用以供应电子束19a到所述离子化空间10,以及出口系统13,用于使离子化气体2a离开所述离子化空间10,其特征在于:包括至少两个电极17a-c,18a-c的电子光学器件16a,b被安装在丝极15a,b和离子化空间10之间;其中所述至少两个电极17a-c,18a-c均具有中央孔径,随着增加离相应丝极的距离,减小孔径的直径;其中,所述电子光学器件16a,b被配置为在至少一个电极17b,18b处测量所述丝极15a,b的发射电流IF。

全文数据:

权利要求:

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