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申请/专利权人：苏州聚阳环保科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及质谱仪检测环境技术领域，尤其是一种用于大气压接口质谱仪的真空系统，由差级真空腔体、质谱接口、前级真空泵、真空规、气体流量调节阀和控制模块构成。本实用新型的一种用于大气压接口质谱仪的真空系统中控制电路、真空规、气体流量调节阀和第一级真空规腔体共同构成一个闭环控制系统，通过控制模块实时读取真空规的测量值，并与其设定的目标气压进行比较，基于比较误差对气体流量调节阀的开度进行实时控制，提升控制精度，保持维持第一级真空腔压力稳定；即使质谱接口前端的气流扰动、质谱接口的流阻变化和前级真空泵的抽速波动这些不稳定的干扰因素存在，本系统也能保持第一级真空腔体内的压力恒定。
主权项：1.一种用于大气压接口质谱仪的真空系统，其特征在于：由差级真空腔体、质谱接口（1）、前级真空泵（2）、真空规（3）、气体流量调节阀（4）和控制模块（5）构成；差级真空腔体包括第一级真空腔体（6）、第二级真空腔体（7）和第三级真空腔体（8）；其中质谱接口（1）、前级真空泵（2）、真空规（3）和气体流量调节阀（4）都与第一级真空腔体（6）相连接；第一级真空腔体（6）内部设置有离子聚焦和传输系统（9），所述第二级真空腔体（7）内部设置有离子导引系统（10），所述质谱接口（1）安装在第一级真空腔体（6）的左侧开口位置；所述气体流量调节阀（4）外侧装配有用于连通第一级真空腔体（6）与前级真空泵的电控切换阀（11）；所述电控切换阀外侧面上螺纹装配有外置式空气过滤机构（12）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州聚阳环保科技股份有限公司 一种用于大气压接口质谱仪的真空系统
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