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申请/专利权人：丁儒
摘要：本发明公开了一种光学元件表面瑕疵快速检测装置,包括有工作台，在工作台上设有拍摄装置与旋转支架，在旋转支架上设有准直光发射装置与反射光陷阱装置，工作台下方设有折射光陷阱装置，同时拍摄装置连接有可对其拍摄的照片进行分析处理的数据处理系统，通过该装置来对被测元件表面瑕疵进行检测，其可清晰观察到被测元件表面宽度1um的瑕疵，精准度较高，并且通过拍摄装置拍摄然后输送至数据处理系统进行分析处理，就可以得出结果，从而可以快速对被测元件表面瑕疵进行检测。同时，本发明还提供了一种使用该装置的光学元件表面瑕疵快速检测方法，通过该方法可用于检测不同口径大小的被测元件。
主权项：1.一种光学元件表面瑕疵快速检测装置，包括有工作台7，其特征在于，所述工作台7的上表面为用于放置被测元件2的工作台面，所述工作台7上设有支撑支架8，所述支撑支架8上且位于工作台面上方设有可对被测元件2进行拍摄的拍摄装置1、以及能够绕着一竖直轴线旋转支架6，所述旋转支架6上设有可向被测元件2的表面发射准直光的准直光发射装置3、以及可将射于被测元件2上后反射出来的准直光进行吸收的反射光陷阱装置4，所述拍摄装置1连接有可对其拍摄的照片进行分析处理的数据处理系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 丁儒 一种光学元件表面瑕疵快速检测装置及其检测方法
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