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申请/专利权人:贵研先进新材料(上海)有限公司;昆明贵金属研究所;云南贵金属实验室有限公司
摘要:本发明公开了一种镍钒合金靶材的绑定方法,属于溅射靶材技术领域。本发明通过对镍钒合金的焊接端面依次进行机械加工、表面纳米化和电解抛光处理,然后将处理后的镍钒合金与铜或铜背板进行扩散焊连接。本发明所述方法能有效提高靶材的绑定性能,提升靶材的成品率。同时,在扩散焊接时,焊接温度比现有技术的温度大大降低,从而能在几乎不改变镍钒合金结构的条件下实现靶材与背板的有效连接。
主权项:1.一种镍钒合金靶材的绑定方法,其特征在于,包括如下步骤:1将镍钒合金靶坯绑定用端面进行机械加工;2然后对镍钒合金靶坯绑定用端面进行表面纳米化处理;3表面纳米化处理后,将镍钒合金靶坯绑定用端面进行电解抛光;4将处理后的镍钒合金靶坯绑定用端面与铜或铜合金背板进行扩散焊连接。
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