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申请/专利权人：华控(苏州)智能装备有限公司
摘要：本发明公开了一种扫描电镜用原位加载高低温多功能EBSD加载台，应用在原位加载装置技术领域，其技术方案要点是：包括机架；所述机架上分别对称滑动连接有前横梁以及后横梁，所述前横梁以及所述后横梁上能调节设有用于实现试样定位固定的定位夹具，所述机架上固定连接有带动所述前横梁以及所述后横梁同步对向移动从而实现试样的拉伸或压缩的同步丝杆滑移组件，所述机架上固定设有用于对试样进行加热或降温的原位高温模块或原位低温模块；具有的技术效果是：降低对扫描电镜成像的影响。
主权项：1.一种扫描电镜用原位加载高低温多功能EBSD加载台，包括机架1；其特征在于，所述机架1上分别对称滑动连接有前横梁11以及后横梁12，所述前横梁11以及所述后横梁12上能调节设有用于实现试样定位固定的定位夹具13，所述机架1上固定连接有带动所述前横梁11以及所述后横梁12同步对向移动从而实现试样的拉伸或压缩的同步丝杆滑移组件2，所述机架1上固定设有用于对试样进行加热或降温的原位高温模块3或原位低温模块4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华控(苏州)智能装备有限公司 一种扫描电镜用原位加载高低温多功能EBSD加载台
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