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一种芯片Pad中针痕触边检测方法、设备、介质及产品 

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申请/专利权人:上海朋熙半导体有限公司

摘要:本申请实施例涉及芯片检测技术领域,公开了一种芯片Pad中针痕触边检测方法、设备、介质及产品。方法包括采集并制作模板图片;获取训练图片,通过LINE‑MOD算法对所述训练图片进行处理,得到所述训练图片的特征向量和特征点坐标;获取待检测图片,通过LINE‑MOD算法将所述待检测图片与所述模板图片进行匹配,输出检测图片;通过自适应阈值分割算法对所述检测图片进行处理;分割所述检测图片的针痕区域,并计算所述针痕区域与Pad边框的尺寸间距,输出检测结果。可以至少用以解决Pad检测过程中精度不足的技术问题。

主权项:1.一种芯片Pad中针痕触边检测方法,其特征在于,所述方法包括:采集并制作模板图片;获取训练图片,通过LINE-MOD算法对所述训练图片进行处理,得到所述训练图片的特征向量和特征点坐标;将所述特征向量和特征点坐标保存到对应的所述模板图片;获取待检测图片,通过LINE-MOD算法将所述待检测图片与所述模板图片进行匹配,输出检测图片;所述检测图片包括匹配得到的Pad信息、位置和置信度;通过自适应阈值分割算法对所述检测图片进行处理;分割所述检测图片的针痕区域,并计算所述针痕区域与Pad边框的尺寸间距,输出检测结果。

全文数据:

权利要求:

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