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高压元件与侦测电路 

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申请/专利权人:通嘉科技股份有限公司

摘要:本发明公开一种高压元件与侦测电路。该高压元件包含半导体基底、深阱层、场隔绝层、控制栅、第一阱层、及埋藏层。该半导体基底为第一导电型,具有上表面。该深阱层为第二导电型,相反于该第一导电型。该深阱层形成于该上表面。该场隔绝层形成于该深阱层中的该上表面,分隔源主动区及漏主动区。该控制栅形成于该场隔绝层上,作为该高压元件的栅极。该第一阱层为该第二导电型,该源主动区至少部分重叠该第一阱层,该第一阱层延展于该场隔绝层下,至少部分重叠该控制栅。该埋藏层为该第一导电型,埋藏于该半导体基底内,形成于该深阱层的底部,具有夹挤部分位于该控制栅下。该深阱层内可提供导电沟道,从该漏主动区,经该控制栅下,至该第一阱层。

主权项:1.一种高压元件,包含有:半导体基底substrate,为第一导电型,具有上表面;深阱层deepwelllayer,为第二导电型,相反于该第一导电型,该深阱层形成于该上表面;场隔绝层fieldisolationlayer,形成于该深阱层中的该上表面,分隔源主动区sourceactiveregion以及漏主动区drainactiveregion;控制栅,形成于该场隔绝层上,作为该高压元件的栅极;第一阱层firstwelllayer,为该第二导电型,该源主动区至少部分重叠该第一阱层,该第一阱层延展于该场隔绝层下,至少部分重叠该控制栅;以及埋藏层buriedlayer,为该第一导电型,埋藏于该半导体基底内,形成于该深阱层的底部,且具有夹挤部分位于该控制栅下;其中,该深阱层内可提供导电沟道,从该漏主动区,经过该控制栅下,至该第一阱层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 通嘉科技股份有限公司 高压元件与侦测电路

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