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一种TOPCon电池的光注入钝化方法 

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申请/专利权人:宜宾英发德耀科技有限公司

摘要:本申请涉及TOPCon太阳能电池技术领域,提出了一种TOPCon电池的光注入钝化方法,包括如下步骤:将沉积有氮化硅层的电池用混合液清洗,再水洗并烘干;将烘干后的电池加热处理,再太阳光光注入处理后,降温至室温后,完成钝化。本申请在加热条件下光照可以加速氢离子的激发,由于电池的发射极有掺杂硼,在结合沉积有氮化硅后,发射区会同时存在硼和氢,氢原子由于在离硼0.125nm处的球面上位能有极小值,氢与硼形成动态的硼‑氢复合体,在完整的硅晶体中单独的代位硼原子在价带上进入一个未填满的受主能级,硼和氢在禁带中引入的能级分别转入价带和导带,电子填充到价带顶,硼不再起受主作用,即被钝化,可以提高电池的开路电压和电池效率。

主权项:1.一种TOPCon电池的光注入钝化方法,其特征在于,包括如下步骤:将沉积有氮化硅层的电池用混合液清洗,再水洗并烘干;将烘干后的电池加热处理,再太阳光光注入处理后,降温至室温后,完成钝化。

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权利要求:

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