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申请/专利权人：鲁奕彤
摘要：本申请提供一种微系统执行器的梳齿电容检测方法。该方法针对微系统执行器的一侧，将测试电压施加在一个固定梳齿上，并将该侧梳齿组件中的两个活动梳齿接地；将该侧梳齿组件中的另一个固定梳齿作为待测梳齿，并采集待测梳齿的检测信号；采用配置的电荷放大器电路，对采集的检测信号进行检测，得到被测信号；基于被测信号，确定梳齿电容检测结果。该方法可以实现通用的微系统执行器的梳齿电容检测方法，提高了检测效率。
主权项：1.一种微系统执行器的梳齿电容检测方法，其特征在于，所述微系统执行器的4个侧面各设置有1个梳齿组件；各梳齿组件包括两个活动梳齿和两个固定梳齿，两个活动梳齿间通电导通且两个固定梳齿间通电不导通，所述方法包括：针对所述微系统执行器的一侧，将测试电压施加在一个固定梳齿上，并将该侧梳齿组件中的两个活动梳齿接地；将该侧梳齿组件中的另一个固定梳齿作为待测梳齿，并采集所述待测梳齿的检测信号；采用配置的电荷放大器电路，对采集的检测信号进行检测，得到被测信号；基于所述被测信号，确定梳齿电容检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鲁奕彤 微系统执行器的梳齿电容检测方法
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