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申请/专利权人：苏州成汉芯业科技有限公司
摘要：本发明涉及TGV通孔的化学预润技术领域，且公开了一种TGV通孔的化学预润方法与装置,包括：将至少一待预润的TGV玻璃基板置入该化学预润装置内；开始对化学预润装置内通入CO2；在对化学预润装置内通入CO2之前；当通入的CO2将TGV通孔内的空气全部赶走，换成CO2时，停止通入CO2，其中在该开始灌入纯水步骤前，设置有一CO2流动时间；对化学预润装置灌入纯水，并静置一预设时间；预设时间内，纯水与CO2反应生成碳酸；当达到该设时间时，让碳酸自该预润装置内流出，并取出该至少一TGV玻璃基板。本发明解决了现有技术需要用到真空pump，预润槽材质也必须使用不锈钢材质，厚度很厚，才不会在真空时槽体变形，因此现有的预润方法存在成本过高的问题。
主权项：1.一种TGV通孔的化学预润方法，其特征在于：S110、适用于一TGV通孔金属化制程的预润步骤，配合一化学预润装置操作，该方法包括：将至少一待预润的TGV玻璃基板置入该化学预润装置内；S120、开始对化学预润装置内通入CO2；S130、当通入的CO2将TGV通孔内的空气全部赶走，换成CO2时，停止通入CO2，对化学预润装置灌入纯水，并静置一预设时间；S140、预设时间内，纯水与CO2反应生成碳酸：CO2+H2O=H2CO3；S150、当达到该预设时间时，让碳酸自该预润装置内流出，并取出该至少一TGV玻璃基板；在对所述化学预润装置内通入CO2之前，对化学预润装置进行密封操作；其中在该开始灌入纯水步骤前，设置有一CO2流动时间；通过CO2填充TGV通孔，然后CO2与纯水反应生成碳酸的方式，使得纯水更容易与TGV通孔接触，易于将TGV通孔完全润湿，以利于在后续的工艺中让电解铜能充分附着。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州成汉芯业科技有限公司 一种TGV通孔的化学预润方法与装置
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