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申请/专利权人：总督科技股份有限公司

摘要：一种晶圆转载机构的机械臂校准方法，在第一机械臂活动端上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，影像攫取组件具有上取像组件，晶圆定位件装卸机构具有定位刻度，在第二机械臂的活动端上设有晶圆取放机构，晶圆取放机构上设有指示刻度，主校正机构具有下取像组件，下取像组件上方设有具标准刻度的透明片；上、下取像组件分别对该标准刻度取像，可校正该影像攫取组件，并建立该第一机械臂的基准点坐标；下取像组件透视该定位刻度的位置影像，可校正该晶圆定位件装卸机构，并计算出该影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构之间的相对坐标；该下取像组件透视该指示刻度的位置影像，可校正该晶圆取放机构，并建立该第二机械臂的基准点坐标。

主权项：1.一种晶圆转载机构的机械臂校准方法，其特征在于，包括：一“比对下取像组件与上取像组件取得标准刻度的位置差异”步骤，设置一第一机械臂、一第二机械臂及一主校正机构，分别连结一控制模块，该第一机械臂上设有一影像攫取组件及一晶圆定位件装卸机构，该影像攫取组件具有一上取像组件，该晶圆定位件装卸机构具有一定位面，该定位面上设有一定位刻度；该第二机械臂上设有一晶圆取放机构，该晶圆取放机构上设有一指示刻度；该主校正机构具有一下取像组件，该下取像组件上方设有一透明片，该透明片上设有一作为定位基准的标准刻度；该主校正机构于该下取像组件旁侧设有一测距雷射光源；由该第一机械臂驱动该影像攫取组件移至该主校正机构上方，由该下取像组件直接取得该透明片上的标准刻度的位置影像，形成一下标准位置影像，且该上取像组件取得该透明片上的标准刻度的位置影像，形成一上标准位置影像；由该控制模块比对该下标准位置影像与该上标准位置影像之间差异；一“建立第一机械臂的基准点坐标”步骤，由该第一机械臂驱动该影像攫取组件移至一取像校正位置，使该下标准位置影像与该上标准位置影像相叠合，用以校正该影像攫取组件取像范围，并由该控制模块记忆该影像攫取组件的取像校正位置的坐标，以建立该第一机械臂的基准点坐标；一“比对下取像组件取得定位刻度位置与标准刻度的位置差异”步骤，由该第一机械臂驱动该晶圆定位件装卸机构移至该主校正机构上方，由该下取像组件穿透该透明片透视该定位面上该定位刻度的位置影像，形成一定位位置影像，由该控制模块比对该下标准位置影像与该定位位置影像之间差异；一“建立晶圆定位件装卸机构正确作业位置”步骤，由该第一机械臂驱动该晶圆定位件装卸机构移至一装卸校正位置，使该下标准位置影像与该定位位置影像重叠，用以校正该晶圆定位件装卸机构的作业位置，并由该控制模块记忆该晶圆定位件装卸机构的装卸校正位置的坐标，再计算并记忆该取像校正位置及装卸校正位置之间的相对坐标；一“比对下取像组件取得指示刻度位置与标准刻度的位置差异”步骤，由该第二机械臂驱动该晶圆取放机构移至该主校正机构上方，由该下取像组件穿透该透明片透视该晶圆取放机构上该指示刻度的位置影像，形成一指示位置影像，然后由该控制模块比对该下标准位置影像与该指示位置影像之间差异；一“建立第二机械臂的基准点坐标”步骤，由该第二机械臂驱动该晶圆取放机构移至一取放校正位置，使该下标准位置影像与该指示位置影像重叠，用以校正该晶圆取放机构的作业位置，并由该控制模块记忆该晶圆取放机构的取放校正位置的坐标，以建立该第二机械臂的基准点坐标，且使该第一、二机械臂具有相同的基准点坐标。

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