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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于衬底处理室的滤波模块包含：限定内部的多个外面板；多个内面板，其在所述滤波模块的所述内部中限定多个隔室；以及可调电容器，其被设置于所述多个隔室中的第一隔室内的所述多个内面板中的第一面板上。所述可调电容器经由所述第一面板而耦合至位于所述第一隔室外的马达，且所述可调电容器被配置成接收射频输入信号并且基于所述马达的位置而提供射频电压至所述衬底处理室。
主权项：1.一种用于衬底处理室的滤波模块，其包含：限定内部的多个外面板；多个内面板，其在所述滤波模块的所述内部中限定多个隔室；以及可调电容器，其被设置于所述多个隔室中的第一隔室内的所述多个内面板中的第一面板上，其中所述可调电容器经由所述第一面板而耦合至位于所述第一隔室外的马达，且其中所述可调电容器被配置成接收射频输入信号并且基于所述马达的位置而提供射频电压至所述衬底处理室,其中所述滤波模块为矩形且包含凹口拐角，且其中所述马达被设置于所述凹口拐角内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于衬底处理系统的滤波箱
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