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申请/专利权人:株式会社三丰
摘要:一种电子位置编码器包括标尺和检测器。该检测器包括磁场产生线圈FGC,该磁场产生线圈具有细长部分配置EPC,该细长部分配置限定了与感测区域中的感测元件对准的磁场产生区域GFA,以响应于与所产生的磁场相互作用的标尺来提供位置信号。感测元件和EPC被制作在检测器部分的“前”层。EPC包括端部梯度装置EGA,其被配置为对于接近GFA端部的位置,以沿着x轴线方向的位置的函数,减小所产生的磁场区域中的磁场强度。在“后”层中制造的屏蔽横向导体部分TCP通过馈通而连接FGC的EPC和或EGA。在前层和后层之间的导电屏蔽区域CSR层中的导电屏蔽区域CSR配置拦截TCP的朝向前层的至少大部分投影。
主权项:1.一种电子位置编码器,能用于沿着与x轴线方向一致的测量轴线方向测量两个元件之间的相对位置,该电子位置编码器包括:标尺,沿着测量轴线方向延伸并且包括信号调制标尺图案,所述信号调制标尺图案包括至少第一图案轨道,所述第一图案轨道具有沿着与x轴线方向垂直的y轴线方向的图案轨道宽度尺寸,每个图案轨道包括信号调制元件,所述信号调制元件被布置成提供作为沿着x轴线方向的位置的周期性函数而变化的空间变化特性,检测器部分,其被配置为安装在所述至少第一图案轨道附近,并且相对于所述至少第一图案轨道沿着测量轴线方向移动,所述检测器部分包括多层电路元件,所述多层电路元件具有在正常操作期间面向标尺的前表面,包括:磁场产生线圈配置,其固定在多层电路元件上,包括:输入部分,包括至少两个连接部分,所述至少两个连接部分将磁场产生线圈配置连接到来自信号处理配置的线圈驱动信号;和第一轨道磁场产生线圈部分,其被配置为标称地围绕与第一图案轨道标称对准的第一轨道所产生磁场区域,并且响应于线圈驱动信号在第一轨道所产生磁场区域中产生第一轨道变化磁通量,第一轨道磁场产生线圈部分包括:第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置,其被制造在多层电路元件的一个或多个细长部分层中并且在第一轨道所产生磁场区域的第一和第二侧上沿着x轴线方向延伸,其中第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置共同跨越或限定沿着x轴线方向的第一轨道细长部分长度尺寸,并且第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置之间的最小y轴线方向间隔限定第一轨道所产生磁场区域最小宽度尺寸,和一组第一轨道导体路径,其中每个构件导体路径连接到第一轨道第一侧或第二侧细长部分配置中的至少一个,并且至少一个构件导体路径包括在多层电路元件的第一轨道屏蔽导体层中制造的屏蔽层导体部分,并且至少一个这样的屏蔽层导体部分是沿着与x轴线方向成横向的方向延伸的横向导体部分,并且至少一个这样的屏蔽层横向导体部分至少跨越第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置之间的最小y轴线方向间隔,并且被包括在构件导体路径中,所述构件导体路径连接第一轨道磁场产生线圈部分中的第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置;导电屏蔽区域配置,其包括至少一个第一轨道导电屏蔽区域,该第一轨道导电屏蔽区域沿x轴线和y轴线方向延伸,并且被制造在第一轨道屏蔽区域层中,相对于它们沿标称垂直于多层电路元件前表面的z轴线方向的位置,所述第一轨道屏蔽区域层位于第一轨道屏蔽导体层和多层电路元件的一个或多个接收器环路层之间;和多个感测元件,包括制造在多层电路元件的一个或多个接收器环路层中的相应导电接收器环路,其中导电接收器环路沿着x轴线方向分布在与第一图案轨道标称对准的第一轨道感测元件区域上,并且感测元件被配置为提供检测器信号或检测器信号贡献,所述检测器信号或检测器信号贡献对由标尺图案的相邻信号调制元件提供的第一轨道变化磁通量上的局部效应做出响应;和信号处理配置,其能操作地连接到检测器部分以提供线圈驱动信号,并且被配置为基于从检测器部分输入的检测器信号确定检测器部分和标尺图案之间的相对位置,其中:在所产生的磁场区域的每个端部,第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置中的至少一个包括端部梯度装置,该端部梯度装置被配置成,当位置接近所产生的磁场区域的端部时,感应出以沿着x轴线方向的位置的函数降低所产生的磁场区域中的磁场强度的磁场梯度;至少一个端部梯度装置连接到构件导体路径中的相关联的构件导体路径,所述相关联的构件导体路径包括相关联的屏蔽层横向导体部分,该屏蔽层横向导体部分连接第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置;和该导电屏蔽区域配置包括至少一个第一轨道导电屏蔽区域,该第一轨道导电屏蔽区域被配置成使其介于接收器环路层和将第一轨道第一侧和第二侧细长部分配置连接的相关屏蔽层横向导体部分之间,且该第一轨道导电屏蔽区域被配置成拦截所述相关屏蔽层横向导体部分沿z轴线方向朝向接收器环路层的z轴线投影的至少大部分区域。
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权利要求:
百度查询: 株式会社三丰 用于感应位置编码器的发射器和接收器配置
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