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申请/专利权人：天津工业大学
摘要：本发明公开了一种用于生化分子检测的中空微纳复合梁的设计方法，该方法提出的设计结构包括梁主体和用于生化反应的中空微流道。其中梁由硅或硅化合物基底以及柔性薄膜两种结构材料复合而成。在柔性薄膜层和硅或硅化合物基底层之间含有液体进样口、液体出样口、液体进样微通道、液体出样微通道和待测样品反应池，反应池位于梁的质量敏感区域。该方法提出“液态反应‑真空检测”的方式，将待测物吸附在微流道内部并将整个结构置于真空环境中，这种检测方式可以实现反应环境与检测环境的有效隔离。通过检测待测物反应导致的频率变化，完成对生化分子的高灵敏度，原位实时的快速检测，可广泛应用于医学、化工等工程领域。
主权项：1.一种用于生化分子检测的中空微纳复合梁的设计方法，其特征在于，该方法提出的设计结构包括梁和用于生化反应的中空微流道，其中梁由硅或硅化合物基底层和柔性薄膜层两种材料组成，柔性薄膜和硅或硅化合物基底之间刻有液体进样口、液体出样口、液体进样微通道和液体出样微通道，在梁的质量敏感区域刻蚀反应池用来进行生化反应同时增大反应面积；采用以下工艺步骤进行制备，在SOI或硅片上刻蚀出梁的外部整体结构，再进行二次光刻和刻蚀形成内部中空微纳结构，得到复合梁的下薄层，另选一玻璃片对柔性薄膜进行刻蚀，或采用在硬模板上倒模的技术形成复合梁结构的上薄层，上薄层的柔性膜采用透明材料，有利于反应池内反应前后的光学观察和检测，然后将上下薄层进行键合，最后，采用深硅刻蚀技术和有机物湿法腐蚀技术释放牺牲层，得到中空微纳复合梁；所述中空微纳复合梁采用“液态反应-真空检测”的方式，以最大限度的降低液体环境阻尼对灵敏度和品质因数的影响，这种检测方式实现了反应环境与检测环境的有效隔离，完成待检测物质的原位实时检测。
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权利要求：
百度查询： 天津工业大学 一种用于生化分子检测的中空微纳复合梁的设计方法
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