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板级RDL封装结构及其制备方法 

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申请/专利权人:上海美维科技有限公司

摘要:本发明提供一种板级RDL封装结构及其制备方法,制备方法包括以下步骤:提供翘曲调控膜、弓形的有机载板及碗形的异质结构;将有机载板放置于翘曲调控膜上方,异质结构放置于翘曲调控膜下方,并进行压合;于有机载板上形成RDL层。本发明在弓形的有机载板下方通过翘曲调控膜叠加碗形的异质结构,利用翘曲调控膜的低热膨胀系数及低收缩率,来改善板级RDL封装结构的翘曲问题,通过翘曲调控膜的固化时间,同时吸收上下面的应力,实现封装结构内部应力的平衡,从而有效减轻扇出型板级封装的翘曲问题,提高产品生产效率和能力,同时增加了板级封装结构的结合力及可靠性,提高了金属线路的均匀性,以及延长了芯片的使用寿命,有利于本发明的推广。

主权项:1.一种板级RDL封装结构的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:S11:提供翘曲调控膜、弓形的有机载板及碗形的异质结构;S12:将所述有机载板放置于所述翘曲调控膜上方,所述异质结构放置于所述翘曲调控膜下方,并进行压合,其中所述有机载板的弓形凹面与所述异质结构的碗形凹面均靠近所述翘曲调控膜;S13:于所述有机载板上形成RDL层。

全文数据:

权利要求:

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